物料搬运控制系统 (Material Control System) 接收 MES 搬运指令,寻找特定物料所在的“工具机或装备”(以下简称“设施”)与目的地设施间的最短路径,并将此任务发布给下属子系统,通过实时监控下属子系统每个物料设施任务的执行情况,实现全自动化生产所需的搬运工作。
实时监控AMHS设备和物料(晶圆盒)的内部运输设备
支持SEMI标准(SECS、GEM、Stocker SEM、IB-SEM)
最短路径应用部署,根据工厂状态进行高效的最佳动态路径
具备Active-Active容错能力
强大的可扩展性 - 主机 / AMHS装备等,均可轻松集成。